等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，同时发出辉光，等离子体在电磁场内空间运动，轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。
